Inertialsensoren
Im Gegensatz zu Bewegungssensoren, die die Bewegung von Objekten detektieren, sind Inertialsensoren Sensoren, die Messdaten über ihren eigenen Bewegungszustand liefern, zum Beispiel die Beschleunigung und die Drehrate. Werden diese beiden Größen in allen drei Achsen gemessen, spricht man von sog. 6-in-1-Sensoren. In diesen MEMS-Sensoren wird eine seismische Masse durch die beschleunigte Bewegung oder die Erdbeschleunigung ausgelenkt und damit die Kapazität eines Plattenkondensators geändert, woraus auf die Beschleunigung zurückgerechnet wird. Anwendungen sind vor allem im Bereich der Kraftfahrzeuge zu finden, z.B. werden in Fahrzeugen vor allem sicherheitsrelevante Module (Airbag, ESP, ABS) mit Beschleunigungsdaten versorgt oder sie unterstützen die Satellitennavigation. Aber auch in Fluggeräten (Flugzeuge, Drohnen, etc) finden solche Sensoren Anwendung.
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