3-Achsen
Ein Beschleunigungsmesser ist ein passives Masse-Feder-Dämpfer-System, das auf Silizium-Ebene hergestellt wird. Externe Beschleunigungen (±a) erzeugen eine Verschiebung der bewegten Masse und eine damit verbundene Veränderung der Kapazität. Beschleunigungsmesser: eigenständiges Gerät, das in der Lage ist, AC- und DC-Beschleunigungen entlang dreier orthogonaler Achsen zu messen.Ein Giroskop ist ein Coriolis-vibrationsgyroskop (aktives Element), das auf Silizium-Ebene hergestellt wird. ASIC führt eine Bewegung aus, um die Geschwindigkeit (𝑣Ԧ) zu erzeugen, die erforderlich ist, um die Winkelgeschwindigkeit (𝜴) zu erfassen.Giroskop: eigenständiges Gerät, das in der Lage ist, AC- und DC-Winkelgeschwindigkeiten entlang dreier orthogonaler Achsen zu messen.